(株)21世紀、超極短レーザーおよび変位センサーを適用したレーザーナノポリッシング装置を披露

超精密レーザー加工、超硬切削工具、MCT TOOLING、超精密金型、自動化精密部品、測定用ゲージを注文生産する会社(株)21世紀が超極短レーザーを活用し、従来の溶融方式のレーザーポリッシングとは差別化したアブレーション方式のナノポリッシング装置を披露した。


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(株)21世紀は超極短レーザーを活用し、従来の溶融方式のレーザーポリッシングとは差別化したアブレーション方式のナノポリッシング装置を披露した。 (株)21世紀は超精密レーザー加工、超硬切削工具、MCT TOOLING、超精密金型、自動化精密部品、測定用ゲージを注文生産する会社だ。

従来の溶融-再凝固方式のレーザーポリッシング技術では、表面硬度の変化に敏感な電子部品生産用の超精密Vacuum plate製作に適用が困難であり、高集積化、小型化される電子部品生産のためにVacuum plateも高精度、高水準の表面照度が要求されており、物理的ポリッシングではこれを満たすのに限界がある。 これを克服するため(株)21世紀は熱影響がほとんどないフェムト秒レーザーを利用したナノポリッシング装置を開発した。

従来のナノ秒レーザーを利用した表面溶融-再凝固現象により表面粗度を改善するのではなく、超極短レーザーに置き換えて素材の表面を精密に削り出すことで（アブレーション）従来の物理的ポリッシングに比べて非常に低い表面粗さRy値を獲得できる。 それだけでなく、表面硬度を変化させる溶融現象ではなく、素材表面をアブレーションするため、表面の物性値の変化が非常に少ないのが特徴である。