阿南高専開発の超短パルスレーザー微細加工試験機をセミコンジャパン2023に出展

　阿南工業高等専門学校（徳島県阿南市　校長：箕島弘二　以下「阿南高専」）は、最先端の加工技術である超短パルスレーザー微細加工を行うことができる試験機を開発し、セミコンジャパン2023（令和5年12月13日(水)～15日(金)、東京ビッグサイト）において、開発した試験機と試作した加工サンプル展示を行いました。展示会には、ブース説明補助者として開発を手伝った本科2年生4名も参加しました。

　今年度より阿南高専は、新規光関連技術により徳島県内での光関連産業生産額や雇用者数増加を目指す内閣府地方大学・地域産業創生交付金事業展開枠（次世代”光”創出・応用による産業振興・若者雇用創出計画）において、「微細レーザー加工技術活用事業」に取り組んでいます。微細レーザー加工とは、フェムト秒の超短パルスレーザーによる加工で、極めて短い時間間隔でパルス照射を行うため加工対象に与える熱影響が極めて小さくなり、熱に弱い材料の加工やナノからマイクロメートルオーダーの超微細な加工を実現することが可能な最先端のレーザー加工技術です。本事業での今年度の取り組みとして、様々な材料に対して微細レーザー加工を行うことができる試験機を開発しました。複数台のレーザーを搭載可能で、材料や工法に応じて最適な波長や加工系を選択でき、統合加工ソフトウェアにより容易に加工データを作成できる特徴があります。
　開発した試験機と試作した微細加工サンプルを展示することで微細レーザー加工技術に関する産学連携を推進するため、半導体関連の大規模な展示会であるセミコンジャパン2023に出展しました（担当教職員：長谷川竜生教授、尾崎貴弥技術職員、岸敏生技術補佐員）。高専や大学向けのアカデミアブースでは面積が小さく大きな装置を展示できないため、一般用の2ブースを使って展示を行いました。一般ブースでの高専出展は阿南高専のみで、企業の出展ばかりの中に高専の出展があることにたいへん注目を集めました。
　また、加工試験機開発には卒研生だけでなく、人材育成をかねて阿南高専電気コースのアントレプレナーシップ実習である「電気技術イノベーション実習」として2～4年生の学生も参加しており、その中の2年生4名が説明補助者として展示会に参加しました。