Ａ＆Ｄグループの半導体検査・測定装置メーカー、株式会社ホロンの新本社工場が完成いたしました。 (2/3ページ)
＜主力製品情報＞
（1）フォトマスク用CD-SEM「ZX」
● ホロンがフォトマスク市場で長年培ってきた独自の高分解能技術、チャージ対策技術をさらに進化させて、sub-10nm最先端デバイス用マスク向けに開発した装置
● ナノパターンの高速・高精度計測が可能
● 収差補正技術をさらに改良し、高SNRイメージを取得
● 低真空技術によるチャージフリーSEM画像を取得、高精度計測が可能
● 多彩なアプリケーション（多点計測・輪郭抽出・2D測定・欠陥レビュー・3D表示）
（2）欠陥レビューSEM「LEXa-10」
● フォトマスク用CD-SEMで定評のある低真空技術の採用により、チャージ抑制を行いながらナノの世界を観察・分析する欠陥レビュー装置
● 低真空技術によるフォトマスク（絶縁物）の全面観察および元素分析
● 低加速電圧による高分解能、低ダメージ分析
● 光学式欠陥検査装置とのリンク機能
● 自動欠陥レビューナビゲーション（ADR）機能
ホロンは、用途に応じて各種の半導体検査・測定装置を製作し、お客様のニーズにお応えしています。
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