【特許取得情報】Ａ＆Ｄは、半導体製造装置向けの電子銃に関する2件の特許を取得いたしました。 (2/3ページ)
[資料: https://files.value-press.com/czMjYXJ0aWNsZSMxOTIwNCMzNTY3NTcjMTkyMDRfRW95eXJSakJ3TC5qcGc.jpg ]
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【2．取得した特許の概要】
このたび取得した2件の特許は、いずれも電子顕微鏡など真空室を有する装置の真空室内を仕切る仕切壁と、仕切壁に設けられた開口部を封止する真空封止弁に関する技術です。
（1）特許番号：特許第7670770号
シール材への負担を軽減して開口部を開閉する真空封止弁
（2）特許番号：特許第7670771号
パーティクル（半導体製造プロセスに悪影響を及ぼす微粒子）の発生を抑制した真空封止弁
上記（1）（2）ともに
発行日：令和7年4月30日（2025.4.30）
発明の名称：真空封止弁
特許権者：株式会社エー・アンド・デイ
発明者：芳川 明夫（株式会社エー・アンド・デイ 設計開発本部）
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