【特許取得情報】Ａ＆Ｄは、半導体製造装置向けの電子銃に関する2件の特許を取得いたしました。 (1/3ページ)
株式会社エー・アンド・デイ（本社：東京都豊島区、代表取締役執行役員社長：森島 泰信）は、半導体製造装置向けの電子銃に関する2件の特許を取得いたしました。
株式会社エー・アンド・デイ（本社：東京都豊島区、代表取締役執行役員社長：森島 泰信）は、半導体製造装置向けの電子銃に関する2件の特許を取得いたしました。
【１．Ａ＆Ｄの電子銃】
電子銃は電子ビームを発生させるための装置で、半導体製造装置や電子顕微鏡などは最先端の電子ビーム技術を使用しています。陰極から電子を放出し、電界や磁界を利用して加速・収束させることで、極めて精密な電子ビームを生成・制御します。
Ａ＆Ｄはこの電子銃技術を活かし、半導体製造プロセスにおける高精度測定や微細加工の向上に貢献しています。たとえば、電子ビーム検査装置、露光装置に搭載される基幹ユニットを提供し、ナノスケールの観察や加工にご活用いただいています。
さらに、フォトマスクの寸法を高精度に測定するための装置開発にも取り組み、次世代の半導体製造を支える技術を提供しています。
